① 设备
ICP-MS 主机配套真空泵，泵品牌为莱宝（Leybold）。泵体铭牌在现场不可辨，具体型号未记录，本页不硬写型号；如需按型号配板配轴承，请以铭牌和随机资料为准。
真实工单记录 · 现象到处理一条线 · 客户信息已脱敏
ICP-MS 配套真空泵维修案例：控制板烧损与泵油耗尽
真空上不去、抽真空时间变长，是 ICP-MS 报修里最常见的一类。这次的问题不在质谱主机，而在配套真空泵：控制板烧损、泵油见底，出油口一滴不出。下面把现场记录和处理范围按顺序写清楚，遇到同类故障可以照着核一遍。
真空系统泵控制板泵油与油路轴承与风机抽真空时间
案例经过
按「设备 → 现象 → 排查 → 处理 → 结果」记录，只写工单里能对上的一手信息；设备型号、客户名称等未确认项不硬写。
② 现象
客户反馈两点：一是泵控制板炸机，板上有明显烧损点；二是泵油已经见底，出油口一滴不出。这两条同时出现，说明不是单纯的电路问题。
③ 排查
整泵带回后开盖，按三步排除，顺序是先板、再油、后线包：
④ 处理
按上面三步的结论确定处理范围：
- 更换或维修控制板，恢复供电与控制功能
- 补加泵油，拆泵做保养——旧油尚清但带黑色油泥，需清干净再加新油
- 更换风机轴承：转动发涩，已到更换点
- 更换后端轴承：已出现晃动与卡顿
⑤ 结果
本次工单把上述更换与保养做完后交付。装机后的真空度实测数值本页不做承诺，验收建议以现场真空度读数、抽真空时间和保压情况实测为准——只做一次点检容易漏掉间歇性泄漏。
- 交付前建议复查：泵油液位与颜色、运行声音、机身振动
- 装机后先空载抽真空看时间，再点炬看真空能否稳住
- 真空仍上不去时，转查密封、真空规与接口，不要继续只盯泵
常见问题
真空泵出油口不出油，是什么问题？
先看油位。泵油见底时出油口自然一滴不出，这种情况再继续跑就是缺油干转，会把轴承和泵腔磨坏。补油前要确认没有漏油点，否则加多少漏多少。
控制板烧了，只换板行不行？
不建议只换板。板子烧损常伴随缺油干转或轴承卡死带来的负荷升高，只换板很容易二次烧板。正确顺序是板、油位、轴承一起看，一次处理到位。
泵油发黑、有油泥要紧吗？
要紧。油泥说明泵内已有磨损产物或长期高温，油品性能下降后真空度和抽速都会掉。这种情况不是补油，而是拆泵清洗后换新油。
真空度上不去，一定是泵坏了吗？
不一定。密封圈老化、管路接头漏气、真空规失准、接口积盐都会表现成真空上不去。先看泵的运行声音和油位，再用分段保压确认漏点，比直接换泵稳妥。
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