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先看泵 · 再看密封 · 最后动腔体
ICP-MS 真空抽不上去：按五段顺序查，别急拆腔体
真空上不去，八成在「泵或密封」，两成在「读数假报」。先确认真空规读的是不是真的，再按从外到内的顺序查，拆腔体永远是最后一步。
机械泵与油真空规采样锥与接口分子泵O 圈与密封气路与氩气
先怀疑读数，再怀疑系统
真空规本身会坏、会漂。判断方法：
- 对比多段真空读数是否都在同一量级异常，全都不对更像读数问题；
- 机械泵是否在正常运转、声音是否正常，泵在转但真空极差，怀疑规或管路堵塞；
- 有没有报错。有些仪器在真空未达标时会拒绝点火，报错信息往往直接指向段。
机械泵：最常见也最容易处理
| 检查项 | 正常 | 异常表现 |
|---|---|---|
| 泵油油位 | 在标线之间 | 低于下限，真空抽不上去 |
| 泵油颜色 | 浅黄透明 | 发黑或乳化（进水），需换油 |
| 泵油更换周期 | 按厂家要求（常见半年到一年） | 长期不换，油劣化失去密封与润滑 |
| 排气口 | 无明显油雾 | 喷油说明内部异常 |
换油是最常被忽略的维护。油劣化后不仅真空变差，还可能污染整个真空腔。
接口与采样锥：脏了就是漏了
采样锥、截取锥积盐或有颗粒，会让气流通道变窄、真空变差；锥的 O 圈老化或有异物，直接漏气。
- 拆下锥，检查锥孔是否堵塞、有无变形；
- 检查 O 圈是否老化、压扁、有裂纹，装的时候是否到位；
- 锥清洗按厂家方法（通常稀酸超声 + 纯水冲洗 + 完全干燥）；
- 安装时均匀拧紧，不要单边用力导致密封不良。
注意：锥没干透就装回去，水汽会让真空长时间上不去。烘干这一步不能省。
分子泵与腔体：这几条必须报修
出现以下情况，不建议自行处理：
- 分子泵有异响、振动明显增大、或转速报错；
- 分子泵曾经进过水或进过样（有污染史）；
- 腔体 O 圈更换后仍漏，需要检漏；
- 真空度能到某一水平就上不去，且机械泵、锥、O 圈都已排除。
分子泵是高转速精密部件，拆装有严格的环境和工具要求。自行拆装的风险远大于省下的费用。
氩气与气路
别忘了气：氩气纯度不足（低于 99.999%）、减压阀故障、管路有漏，都会让等离子体不稳、真空异常。检查钢瓶压力、减压阀输出、管路接头。
换瓶后要吹扫管路，直接点火可能因为管内空气导致点火失败或真空波动。
常见问题
真空度差一点点能不能先测样
不建议。真空不足会影响灵敏度、氧化物离子比和长期稳定性，数据可信度下降，还可能污染检测器。先解决真空再测。
机械泵油多久换一次
按厂家要求，常见半年到一年。样品酸雾多、使用频繁的要更勤。油乳化（发白）必须立即换。
锥多久清洗一次
按样品量和基质。高盐、高基体样品要更频繁。出现灵敏度下降、真空变差、或氧化物比升高时检查。
真空规能自己校准吗
一般不建议。真空规校准需要标准真空源，且校准不当会导致读数长期偏差。找厂家或有资质机构。
分子泵坏了能修吗
视损坏程度。轴承等部件可更换，转子受损通常要返厂评估。使用中避免突然断电和进样污染，能显著延长寿命。